2MHz BGP系列射頻電源，為脈沖射頻電源，工作頻率范圍在1.765 MHz～2.165 MHz 具備選頻功能，50Ω負載下，滿足輸出2500W、5000W額定功率，功率精度≤±1%，由供電部分、射頻部分和控制部分組成，散熱方式為水冷和風冷。
創新點
豐富靈活的波形控制功能
AFT、DFT掃頻技術
脈沖掃頻技術
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 產品型號 | BGP2502 | BGP5002 |
| 工作頻率 | (1.8-2.17MHz)± 0.005% | |
| 頻率模式 | 固定頻率、選頻、掃頻(AFT、DFT) | |
| 脈沖模式 | 主/從 | |
| 調節模式 | FWD、LOAD、AP | |
| 輸出功率 | 2500W | 5000W |
| 輸出功率精度 | ≤±1%或2.5W | ≤±1%或5W |
| 輸出阻抗 | 50Ω | 50Ω |
| 供電電壓 | 3相208V±10% 50/60Hz | |
| 輸出接口 | HN Female | 7_16(Female) |
| 響應時間 | 射頻響應時間≤100ms | |
| 工作模式 | CW/Pulse/Dual Level/Multi Level（10Hz-20kHz、1%~99%） | |
| 脈沖同步 | 有 | |
| 通信接口 | Analog port、RS232/485、DeviceNet、EtherCat、EtherNet | |
| 諧波抑制 | ≤－45dBc | ≤－45dBc |
| 冷卻方式 | 水冷+風冷 | 水冷+風冷 |
| RAMP功能 | 有 | |
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