无码熟妇人妻av影片在线丨成人av动漫在线观看丨国产美女亚洲精品久久久综合丨99视频免费在线观看丨欧美高清日韩丨五月天综合社区丨国产11一12周岁女毛片丨免费看一级特黄a大片丨天堂在线一区丨欧美www在线观看丨国产精品久久久久久久久久王欧丨丝袜自慰一区二区三区丨国产精品禁18久久久夂久丨youjizzcom日本丨成在人线无码aⅴ免费视频丨久久久久国产精品无码免费看丨国产av激情无码久久天堂丨激情五月av丨免费久久片丨137肉体摄影日本裸交丨午夜伦情丨大屁股国产白浆一二区丨秋霞福利影院丨欧美精品在线一区二区丨国产精品va在线

晶圓傳輸平臺是半導體工藝設備的構成部分，主要實現晶圓在潔凈環境以及真空環境下在不同模塊下的自動化傳輸，晶圓傳輸平臺可以快速在大氣及真空狀態進行切換，滿足系統工藝需求。 該設備主要由用于實現晶圓在工藝過程中在不同工藝模塊之間的傳輸。本系統包括前段用于實現上料功能，存放片盒（Cassette，用于承裝6寸或8寸的晶圓）的VCE（Vacuum Cassette Elevator，真空片盒升降機），平臺真空腔室，真空機械手（Vacuum Robot），真空對準器（Aligner），Cooler冷卻組件，晶圓分離組件（WSM）等部件構成。用于實現6吋/8吋晶圓的傳輸。設備內部帶有多重互鎖保護，保障晶圓傳輸過程中，人員與設備的安全。