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FV100 汽化器是一種將前驅體液體霧化形成液滴氣溶膠，然后流入高效熱交換器形成蒸汽設備。以提供基本上不含顆粒污染物的高純度氣體或蒸汽混合氣，用于半導體薄膜沉積和工業涂層應用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉積。