雙輸出匹配器廣泛應用與刻蝕，薄膜沉積等半導體設備中，用于匹配等離子體設備中射頻電源與反應腔室的阻抗，實現射頻功率傳輸到反應腔室中。
創新點
實時電流比例控制算法
大電流輸出傳感器技術
高速等離子體點火算法
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
| 功率范圍 | 10W-5kW | |||
| 頻率范圍 | 13.56MHz±5% | |||
| 匹配速度 | ≤1s(合適預設) or 3s | |||
| 匹配精度 | ≤1%*前向功率 or 5W | |||
| 信號類型 | 連續波，脈沖波（SLP/DLP/MLP） | |||
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT | |||
| 供電電壓 | 24V DC | |||
| 冷卻類型 | 強制風冷 | |||
| 阻抗范圍 | 根據客戶需求定制 | |||
| 機械尺寸 | 根據客戶需求定制 | |||
| 接口形式 | 根據客戶需求定制 | |||
| 應用產品 | Etch | |||
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