射頻匹配器是一種用于使負載阻抗與射頻電源的阻抗匹配,減少反射功率,使傳輸功率達到的設備。不同的匹配器,被設計成適用于單個頻率或多個頻率段,以滿足不同的應用場景。
雙輸出匹配器廣泛應用與刻蝕,薄膜沉積等半導體設備中,用于匹配等離子體設備中射頻電源與反應腔室的阻抗,實現射頻功率傳輸到反應腔室中。