DP100 壓差計(jì)具有的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,可用于各種不同應(yīng)用的工業(yè)和電子控制系統(tǒng)中,本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件,可精確測量參考腔室和測試腔室之間的氣體壓力差值。
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創(chuàng)新點(diǎn)
壓力實(shí)時測量
零點(diǎn)可調(diào)功能
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
特種工業(yè)-真空鍍膜
生命科學(xué)-醫(yī)療健康
科學(xué)研究-實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
指標(biāo)
單位
規(guī)格參數(shù)
量程Full Scale Ranges
mbar
1 ~1000等 (可定制)
精度Accuracy
% of F.S.
±0.5%;±0.3%
分辨率Resolution
0.003%
運(yùn)行溫度范圍Ambient Operating Temperature
℃
0 ~ 50℃
加熱溫度Sensor Heated Temperature
不加熱
預(yù)熱時間Warm-up Time
h
0.5
耐壓極限Overpressure Limit
Psia
20
工藝側(cè)材料Materials Exposed to Process Gases
/
鎳基合金等
供電電壓Input Power Required
VDC
24V±10% VDC
輸出信號Output Signal
4 ~ 20mA
電氣接口Electrical Connectors
D型9針陽接頭
腔體檢測接口Connection Fittings
VCR1/4〞母接頭、VCR1/4〞公接頭
安裝方式 Install type
豎直或水平