BV100 蝶閥廣泛應用于半導體，平板顯示，晶體硅太陽能和工業制程中，用于控制腔室的下游壓力。
創新點
雙路自匹配壓力傳感技術
L-V-P壓力控制技術
伺服驅動技術
應用領域
半導體-集成電路
半導體顯示
技術指標
| 型號 | BV100 |
| 濕度 | 0~95%RH |
| 接口類型 | D-sub female，DA15 |
| 信號電壓 | 0 ~ 10VDC 線性壓力 |
| ADC分辨率 | 0.1 mV |
| 采樣時間 | 2ms |
| 供電電壓( 輸出 ) | +24 VDC / 1.5A max. |
| 執行器 | 步進電機 |
| 電機分辨率 | 12800( 90°） |
| 控壓精度 | 5 mV 或設定點的0.1%，取大值 |
| 防護等級 | IP 40 |
| 通道內徑 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm |
| 閥板開關時間 | 0.2s |
注意：
蝶閥出廠通常用電壓對傳感器信號進行標定
氣體壓力的單位規定為: Torr (托)
標準狀態規定為: 溫度 -- 273.15K (0℃) ; 氣壓 -- 101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale): 滿量程值; S.P.(Set Point): 設定點值
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